氧化铝钝化膜沉积工艺研究
《电子工业专用设备》2019年04期 许烁烁;陈特超;禹庆荣;刘舟; 下载（178）被引（0）
相关文章推荐
- 大气压介质阻挡放电等离子体...
- 为了研究纳米氧化铝对双向拉伸聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜(BOPET)阻隔性能的影响,利用自行设计加工的大气压介质阻挡放电(DBD)等离子辅助原子层沉积(PAALD)设备,使用三甲基铝...[详细]
- 《材料导报》2018年S2期
- 功能化介孔氧化铝材料的制备...
- 介孔氧化铝因其在催化、吸附等领域具有巨大的应用前景,而受到国内外研究学者的广泛关注。随着工业化生产要求的不断提高,普通介孔氧化铝的使用逐渐受到限制,制备高性能的功...[详细]
- 《中国材料进展》2018年06期
- TMA脉冲和吹扫时间对原子层...
- 采用原子层沉积技术(ALD)进行Al_2O_3薄膜工艺研究,获得85℃低温Al_2O_3薄膜ALD的最佳工艺条件。使用椭偏仪测试厚度,使用扫描探针显微镜对薄膜表面形貌进行分析,使用紫外-分...[详细]
- 《功能材料》2017年07期
- 温度与气压对脉冲PECVD沉积...
- 在有机基体表面等离子体增强化学气相沉积(PECVD) Al_2O_3薄膜是提高其阻隔性能的有效方法,而高品质的Al_2O_3薄膜是提高阻隔性的关键因素之一。脉冲射频等离子体增强化学气...[详细]
- 《真空科学与技术学报》2020年07期
- 草酸阳极氧化法制备氧化铝薄...
- 目的使用阳极氧化法在草酸电解液中制备出氧化铝薄膜并分析其微观形貌和结构,从而提高材料的抗腐蚀性能,使铝合金在生产生活中的应用更加广泛.方法以2024铝合金为阳极,铂丝网...[详细]
- 《沈阳建筑大学学报(自然科学版)》201...
- 多彩结构色氧化铝薄膜氧化机...
- 在草酸电解液中,球形碳点电极作为阴极,铝箔作为阳极,利用一次氧化工艺成功的制备出了单一色彩和虹彩环形结构色的氧化铝薄膜.实验结果显示,球形碳点电极下制备的氧化铝薄膜...[详细]
- 《材料科学与工艺》2017年03期
- 工艺参数对直流磁控溅射法制...
- 采用直流磁控溅射法在载玻片和不锈钢基底上制备某设计要求的氧化铝薄膜,首先采用单因素法分别分析溅射功率、氧气流量、工作压强、负偏压及本底真空度等制备参数对薄膜沉积...[详细]
- 《制造技术与机床》2017年03期
- 工艺气体比例对微波MOCVD沉...
- AlO薄膜作为高效太阳能电池中P层钝化薄膜引起了光伏龙头企业的关注。本文利用自主研发的线性微波等离子增强化学气相沉积系统(LMW-MOCVD)在单晶硅基体上用不同N_2O和TMA特气...[详细]
- 《功能材料》2016年05期
- 彩色多孔氧化铝薄膜的制备和...
- 以草酸为电解液,通过调节电解槽的倾角,使阴极和阳极成一定夹角,采用一次阳极氧化工艺在同一片铝箔上制备具有不同结构的氧化铝薄膜,并对薄膜的微观结构和光学特性进行研究。...[详细]
- 《材料工程》2015年04期
- 非水解溶胶-凝胶法制备氧化...
- 采用非水解溶胶-凝胶法通过浸渍溶胶提拉法在陶瓷过滤管上制备氧化铝薄膜,薄膜孔径分布窄,大小为10 nm左右,晶体粒径大小为20 nm左右。通过XRD、TG-DSC、FE-SEM以及傅立叶变...[详细]
- 《中国陶瓷》2016年02期
- 氧化铝薄膜纳米孔的孔径对电...
- 为了确定电解电压与氧化铝薄膜纳米孔孔径之间的内在关系,以200的磷酸为电解液,在40~150V的电解电压范围内,对铝基材实施阳极氧化制备了具有纳米孔结构氧化铝薄膜.用环境扫...[详细]
- 《天津大学学报》2005年03期
